罗福德全球铸造厂在EUV芯片开发方面并没有落后,但三星也有自己的优势。三星公司内部开发了自己的超视距掩模检测工具,但尚未开发出类似的商业工具。
测工具,但尚未开发出类似的商业工具。
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