이, 피에스케이홀딩스와 기판업체인 이수페타시스와 대덕전자 등에 투자하고 있다.여기에 미세화 전공정 주요 기업으로는 EUV 감광액 소재를 만드는 동진쎄미켐, EUV 마스크 리페어 장비 기업인 파크시스템, EUV 펠리클(포토마스크 오염 방지 부품) 관련 장비를 만드는 에프에스티 등도 담고 있다. 그 외에도 GAA 식각액 소재 기업인 솔브레인과 GAA ALD(원
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发布时间：06:46:50
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