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冲波形、光子链路定位、电磁辐射等参数的计量测试能力，解决了MEMS关键射频参数的计量测试与应用问题。该研究成功研制基材介电常数计量装置、太赫兹波形计量装置、光子链路定位参数计量装置、微互连电磁泄漏总辐射功率测试装置、微机电系统电接触和互连电参数测试装置等多项技术成果，部分指标达到国际先进水平。研究团队牵头起草《皮秒级快沿/脉冲发生器校准规范》等3项国家计量技术规范，健全了我国在微机电系统测量及相关

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发布时间：11:03:59