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新型高性能二维半导体材料研发获突破_蜘蛛资讯网

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的二维半导体因迁移率高、带隙可调、栅控能力强,被视为后摩尔时代芯片材料的核心候选。然而,晶格缺陷诱导的自发电子掺杂和费米能级钉扎效应,使现有二维半导体材料体系长期呈现N型材料多、P型材料少,以及N型材料性能好,P型材料性能差的结构性失衡问题。针对上述问题,研究团队建立了以液态金/钨双金属薄膜为衬底的化学气相沉积方法,实现了晶圆级、掺杂可调的单层WSi2N4(氮化钨硅)薄膜的可控生长。新的制备方法让

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发布时间:07:01:03


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